蠕动泵在芯片镀膜、显影和蚀刻中的应用
2023-04-18 16:43:07
芯片生产是一个非常复杂的点砂成金的过程——从砂子到晶圆再到芯片。
晶片先从砂石里层层提炼出来，中间涉及有拉晶、切割的工艺。然后在做好的晶圆上制作电路及电子元件，这也是是芯片制造中最关键的环节，主要包含镀膜、光刻、显影、刻蚀、离子注入等工艺，再经过百道复杂的工艺和几个月的加工，才能在在指甲盖大小的空间中集成数公里长的导线和数以亿计的晶体管器件。而封装与测试业务属于集成电路产业链的后端行业。
蠕动泵针对芯片制造中的关键工艺环节- 芯片镀膜、显影和蚀刻，可提供精密的产品组合，输送重要的工艺化学品。
应用价值
· 泵送介质：酸性试剂或者碱性试剂
· 流量：几十毫升/分钟
· 流量精度：±2%
· 泵送液量范围：几十毫升至几百毫升(与镀膜厚度有关)
· 镀膜均匀性好，膜层致密
· 工艺流程：蠕动泵泵送酸碱溶液，用于调节酸碱平衡度，然后将调节后的试剂泵送至喷头，试剂被雾化后均匀喷洒至芯片表面进行镀膜，镀膜的厚度决定喷出的液量
推荐型号
BT100-1F系列 搭配进口软管
